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產(chǎn)品&服務(wù)

Products & services

• 勻膠顯影機(jī)

  12英寸勻膠顯影機(jī) ACD12

  8英寸勻膠顯影機(jī) ACD8

  6英寸勻膠顯影機(jī) ACD6

  6英寸勻膠顯影機(jī) ACD6 S

• 去膠剝離機(jī)
• 單片清洗機(jī)
• 噴膠機(jī)
• 單片濕法刻蝕機(jī)
• 晶圓搬運(yùn)顯微鏡

• 

6英寸勻膠顯影機(jī) ACD6

SPIN COATER&DEVELOPER

• 詳細(xì)描述

設(shè)備配置  3C、4C、6D
襯底材質(zhì)  Si、Glass、Sapphire等
適用工藝  G-line、i-line
應(yīng)用領(lǐng)域  功率器件、LED等
設(shè)備尺寸  1050*1900*2200mm(W*D*H)
技術(shù)特征：

· 超高產(chǎn)能、更低的COO使用成本；

· 設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小（面寬僅1.1m）；

· 功能齊全，具備EBR、BSR、RRC、膠嘴自動(dòng)保濕清洗等功能；

可做兩種尺寸完全兼容，不需要更換零件；